1920年，捷克剧作家卡里洛·奇别克在其科幻剧本《罗萨姆万能机器人制造公司》（Rossum‘s Universal Robots）首次使用了ROBOT这个名词，之后便成为机器人的代名词。
1938年3月，The Meccano Magazine报道了一款搬运机器人模型，这是最早的关于以工业应用为目标的机器人模型的报道。它由Griffith P．Taylor于1935年设计，可以通过一个电动机实现5个轴的运动。到了1954年，美国的G.C.Devol设计出第一台电子可编程序的工业机器人。而1960年美国AMF公司生产了柱坐标型Versatran机器人，可进行点位和轨迹控制，这是世界上第一种应用于工业生产的机器人。
在1974年，Cincinnati Milacron公司成功开发了多关节机器人。到了1979年，Unimation公司推出PUMA机器人，它是一种多关节、全电机驱动、多CPU二级控制的机器人，采用VAL专用语言，可配视觉、触觉、力觉传感器，在当时是技术最先进的工业机器人。现在的工业机器人在结构上大体都以此为基础。这一时期的机器人属于“示教再现”（Teach-in/Playback）型机器人，只具有记忆、存储能力，按相应程序重复作业，对周围环境基本没有感知与反馈控制能力。
进入80年代，随着传感技术，包括视觉传感器、非视觉传感器以及信息处理技术的发展，出现了第二代机器人——有感觉的机器人。它能够获得作业环境和作业对象的部分相关信息，进行一定的实时处理，引导机器人进行作业。第二代机器人已在工业生产中得到了广泛应用。
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